Исследование электроразрядных эксимерных лазеров

достигло максимального значения. При этом считаем, что концентрация

электронов в плазме разряда постоянна и, следовательно, постоянно ее

сопротивление. Величины R2 и L2 определяются по изложенной выше методике.

Кроме того, необходимо правильно задать начальные условия. Это можно

сделать точно, если известны из эксперимента U1(0), U2(0), I1(0), I2(0). В

этом случае, решая систему (8), можно легко получить зависимость

энерговклада в разряд от времени. Если из эксперимента известно только

U2(0) и I2(0), то можно оценить величины U1(0) и I1(0) следующим

образом [46]. Влиянием тока I2(t) на ток I1(t) пренебрегаем до момента

времени, пока напряжение на обострителе не достигло своего максимального

значения. Тогда значение тока I1(t) и напряжения U1(t) до этого момента

можно определить по выражениям для этих величин в режиме холостого хода.

Именно таким образом определялись нами начальные условия. При этом током

через разрядный промежуток в момент пробоя можно пренебречь, поскольку он

очень мал. В момент времени, когда напряжение на обострительной емкости

максимально, можно считать, что I2(t)=I1(t). Решая систему (8) при

указанных начальных условиях находим ток I2(t). Зная ток I2(t) и

сопротивление R2 можно легко определить энерговклад в активную среду.

Величина энерговклада полностью соответствовала результатам измерения

энергии импульса генерации.

Для теоретического расчёта энерговклада была разработана следующая

полуэмпирическая методика [51]. Эта модель исходит из экспериментального

факта, что напряжение на обострительной емкости достигает максимального

значения через определённое время ?t после того как напряжение на разрядном

промежутке достигло величины пробоя Uпр в момент tпр. Для нашего лазера

?t=78 нс и не зависело от величины обострительной емкости C2 в диапазоне 50

- 130 нФ. Физически, величина ?t=tmax-tпр=78 нс является временем

формирования разряда (рис.22). За это время происходит рост тока I2(t) и

напряжения U2(t) до величин I2(tmax) и U2(tmax), где tmax – это момент

времени, когда напряжение на обострителе максимально. В этом случае

снижение напряжения (?U) на обострительной емкости C2 по отношению к режиму

холостого хода можно оценить из соотношения: ?U = I2tmax)?tК/2, где К –

зависит от формы импульса тока I2(t). Величина К определяется подбором ?U

под данные эксперимента для конкретного значения C2. Значения величин R2,

L1 и L2 берутся из эксперимента. Как показали испытания они практически не

зависят от изменения величины С2 в диапазоне 50-110 нФ. Величина С1=150 нФ.

Система уравнений для LC-контура имеет вид

[pic];

[pic];

[pic]; (34)

[pic].

Используя вышеизложенные допущения, сформулируем начальные условия.

Напомним, что время tпр, т.е. момент когда напряжение на обострителе

достигает пробойного (Uпр), определяется из соотношения (28). Отсюда имеем:

U2(0)=[pic]-?U;

U1(0)=U0-[pic]; (35)

I1(0)=U0[pic];

I2(0)=I1(0).

Система уравнений (34) при начальных условиях (35) решалась

численными методами с использованием программы MathCad. Полученные при этом

расчетные осциллограммы напряжения на обострителе и тока через разрядный

промежуток дают хорошее соответствие с результатами эксперимента в

диапазоне величин обострительной емкости С2=50-106 нФ. Это хорошо видно из

осциллограмм напряжения на рис 24, а, б. Расхождение между расчетом и

экспериментом при С2>110 нФ (в, г) обусловлено особенностями конструкции

системы возбуждения лазера, в частности, различием индуктивностей контуров

зарядки нижней и верхней части обострителя, что не учитывалось в

эквивалентной электрической схеме лазера (см. рис.21).

При исследовании работы рассчитанной системы возбуждения XeCl-лазера

была получена максимальная энергия генерации (3 Дж (при использовании в

качестве буферного газа неона) [46,47,52]. Зарядное напряжение равнялось 35

кВ, что соответствует тому, что накопительная емкость С1 заряжалась до 70

кВ. Исследования показали, что энергия генерации может быть существенно

увеличена путем уменьшения индуктивности L1.

1.4. Методика измерений, используемая при оптимизации электроразрядных

эксимерных лазеров

1.4.1.Определение параметров контура перезарядки накопительной ёмкости

на обострительную

Эквивалентная схема LC-контура, используемая для возбуждения нашего

лазера, представлена на рис.21. Величины емкостей С1 и С2 обычно

определяются путем стандартных измерений в мостовых схемах. При этом

следует подчеркнуть, что эти данные являются точными при низких

напряжениях, а при высоких их достоверность нуждается в проверке. Далее при

помощи делителя напряжения и пояса Роговского снимают импульсы

соответственно напряжения на емкости С2 и тока через нее, при отсутствии

разряда в лазерной камере, то есть на холостом ходу. Эти сигналы выводятся

на осциллограф и фотографируются. Полученные осциллограммы обрабатываются и

определяются величины L1 и R1, то есть величины индутивности и

сопротивления контура перезарядки накопительной емкости на обострительную

[53]. Следует сразу отметить, что пояс Роговского при этом может быть не

прокалиброван. Калибровка пояса Роговского не представляет особых проблем

при регистрации импульсов тока через длинные линейные проводники, но в

системе возбуждения электроразрядного лазера все токопроводы выполняются из

широких медных шин. Поэтому обычно пояс охватывает лишь маленькую часть

шины или шпильку токоввода в лазерную камеру, а определить надо ток,

протекающий не только по этой маленькой части шины, а по всему токоподводу.

Следовательно, если даже пояс Роговского был заранее прокалиброван на

линейном проводнике, связать его показания с током протекающим по шинам

системы возбуждения лазера можно весьма приблизительно. Например, если

считать, что показания пояса Роговского расположенного непосредственно на

шпильке токоввода в лазерную камеру, умножаются на число шпилек по которым

проходит ток. Непосредственная же калибровка пояса прямо в системе

возбуждения затруднительна. Поэтому разработка различных методик проведения

такой калибровки является является интересной задачей.

Нами была разработана и аппробирована такая методика в процессе

исследования зависимости величины обострительной емкости от напряжения на

ней. Исследования проводились для конденсаторов типа К15-10 (3,3 нФ, 31,5

кВ), так как обострительная емкость C2 была набрана именно на них. При этом

в процессе перезарядки накопительной емкости С1 на обострительную С2 на

холостом ходу были получены осциллограммы импульсов напряжения на С2 и

заряда на ней. Импульс тока с пояса Роговского поступал на интегрирующую RC-

цепочку и затем на осциллограф и эта оциллограмма давала нам заряд на

обострительной емкости. На основании следующих сотношений:

[pic]=I0[pic]; А(t)=Q(t)/I0; С(t)=Q(t)/U(t);

(36)

где Q(t)-заряд на обострительной емкости; I0-чувствительность пояса

Роговского; I(t)-величина сигнала с пояса Роговского; А(t)-величина сигнала

с интегрирующей цепочки; U(t)-величина напряжения на обострителе; С(t)-

емкость обострителя в зависимости от времени.Тогда имеет место сотношение:

C(t)/I0=A(t)/U(t)[pic]

(37)

Правая часть этого соотношения определяется величинами, измеряемыми в

эксперименте. Поэтому построив график зависимости отношения A(t)/U(t) от

времени можно определить меняется ли емкость С от времени или, что тоже

самое от напряжения, так как у нас напряжение однозначно связано с временем

осциллограммой. Проведенные исследования показали, что конденсаторы типа

К15-10 имеют постоянную величину емкости примерно до 20 кВ. В пределах 20-

27 кВ емкость уменьшается на 10%. При напряжении свыше 27 кВ конденсаторы

этого типа становятся с[pic]ущественно нелинейными, что надо учитывать при

исследованиях. Это приводит к снижению энергии запасаемой в обострительной

емкости и соответственно уменьшает энерговклад в разряд. Кроме того,

приведенное выше соотношение позволяет определить чувствительность пояса

Роговского-I0, так как

I0=[pic][pic]=C(0) [pic][pic][pic]

[pic] (38)

величина обострительной емкости при малых напряжениях С(0) нам

известна.

1.4.2. Измерение концентрации электронов предыонизации и напряжения на

лазерных электродах

Одним из важнейших элементов, определяющих работу электроразрядного

эксимерного лазера является система предыонизации. Она влияет на

устойчивость и однородность разряда, длительность объемной стадии, энергию

и стабильность генерации [49,54]. Предыонизация создает некоторое начальное

количество электронов и при их минимальной концентрации ~ 108 см-3 разряд

имеет объемный характер вследствие перекрытия отдельных электронных лавин.

Следовательно при оптимизации эксимерного лазера необходимо в первую

очередь измерять начальную концентрацию электронов, создаваемых системой

предыонизации. Нами была разработана и экспериментально проверена методика

измерения сопротивления основного лазерного промежутка, позволяющая

определить зависимость этого сопротивления от времени [55]. Cхема

измерительной цепи представлена на рис.25. Рассмотрим это более подробно.

Для широкопертурного электроразрядного эксимерного лазера [50-51] при

концентрации электронов предыонизации ~ 108 см-3 величина сопротивления

разрядного промежутка R ~ 3 МОм (Е/P~1кВ/см?атм и типичная рабочая

смесь). Тогда, если величина обострительной емкости С2 ~ 10 нФ, то время

разряда составит RC ~ 0,03 с. Поэтому непосредственное измерение

напряжения на лазерных электродах не дает возможности определить

сопротивление R. Поставим между обострительной емкостью С2 и лазерным

электродом сопротивление R1 ~ 300 кОм. Определим чему будет равно

напряжение на сопротивлении R1 при изменении сопротивления R в пределах от

бесконечности до 3 Мом в зависимости от времени под действием импульса

предыонизации. Для этого запишем систему уравнений для нашей измерительной

цепи

[pic] (39)

U - напряжение на лазерных электродах; U2 - напряжение на обострителе

C2; Cе - емкость лазерных электродов (Се ~ 4 пФ). Если обозначить начальное

напряжение на обострителе через U0, то можно показать, что система

уравнений (2) имеет следующее приближенное решение

[pic]

(40)

где U1(t) - напряжение на сопротивлении R1. Таким образом измеряя

напряжение на сопротивлении R1 можно определить зависимость сопротивления

межэлектродного промежутка от времени.

[pic]

(41)

При этом напряжение на электродах лазера таково, что не происходит

размножение начальных электронов. По величине сопротивления, при известном

составе смеси и напряженности электрического поля, можно определить

электронную концентрацию и время ее выхода на требуемый минимальный

уровень. Это время позволяет определить временные характеристики, которым

должна удовлетворять система возбуждения.

Система возбуждения лазера обеспечивает необходимый энерговклад в

разряд, величину которого можно определить по току и напряжению. Поэтому

нами была разработана методика по измерению тока и напряжения на лазерных

электродах.

Эти измерения проводились при помощи резистивного делителя

напряжения. Отметим, что в литературе по технике измерения импульсов

высокого напряжения акцент ставится в основном на частотные свойства

делителей. Основная погрешность при измерениях в эксимерных лазерах

обусловлена взаимоиндукцией между контурами возбуждения и измерения.

Возможность использования для измерения напряжения на электродах

делителя, который непосредственно к ним присоединяется была нами изучена.

Как известно (56(, делитель напряжения имеет переходную характеристику

определяемую из следующего уравнения:

[pic]

(42)

где U(t)-напряжение снимаемое с делителя; K-коэффициент деления; M-

коэффициент взаимоиндукции между контуром разряда обострительной емкости С

и измерительной цепью; I-ток через межэлектродный промежуток; R-

сопротивление межэлектродного промежутка. Постоянная времени делителя

равна: (=М/R. Рассмотрим для определенности широкоапертурный лазер

[50].Сопротивление лазера R(0.1 Ом; M (10 нГн (по порядку М совпадает с L-

индуктивностью контура разряда обострительной емкости С=75 нФ на

межэлектродный промежуток). Тогда ((100 нс, что сравнимо с периодом разряда

емкости С: T(2([pic](150 нс. Поэтому непосредственно использовать делитель

не представляется возможным, так как М определяется размерами трубы

лазерной камеры, на которой внутри размещены электроды и уменьшен быть не

может. Здесь мы столкнулись с одной закономерностью связанной с тем, что

лазер широкоапертурный. Для увеличения апертуры лазера мы увеличиваем

радиус трубы R, тогда апертура лазера растет как R 2, при этом M и L

увеличиваются тоже как R 2. Но при этом для делителя ((M(R2, a для периода

разрядного контура T([pic]([pic](R. Таким образом увеличение апертуры

лазера путем увеличения радиуса трубы излучателя приводит к тому, что

происходит рост постоянной делителя по отношению к характерному времени

разрядного контура (Т2). Если делитель напряжения был применим для

измерения напряжения на электродах при малых радиусах трубы излучателя, то

при увеличении радиуса он дает все большие ошибки. И наконец его применение

становится просто невозможным.

Этот факт заставил изучить возможность модификации способа измерения с

помощью делителя. К лазерным электродам присоединялись два делителя

напряжения с разными М - коэффициентами взаимной индукции. С этих делителей

снимался разностный сигнал и он интегрировался.

[pic] (43)

[pic] (44)

где К1- коэффициент интегрирующей цепи.

Для момента времени, когда ток I=0

[pic]

(45)

и мы определяем величину М2/М1. Тогда, если подавать на осциллограф

сигнал

[pic] (46)

то легко получить напряжение на межэлектродном промежутке IR. Кроме

того сигнал U1 (43) можно использовать для измерения относительной величины

силы тока I.

Нами также были рассмотрены некоторые особенности, связанные с

измерением напряжения на конденсаторах системы возбуждения. Разработанные

методики используются для оптимизации работы системы возбуждения XeCl-

лазера с энергией генерации 3Дж с целью ее дальнейшего существенного

повышения.

1.4.3 Моделирование систем возбуждения электроразрядных лазеров

Как правило системы возбуждения электроразрядных эксимерных лазеров

моделируют некоторой электрической схемой с сосредоточенными емкостями и

индуктивностями. Следует при этом отметить, что системы возбуждения обычно

выполняются конструктивно с распределенными индуктивностями. Поэтому

представляется целесообразным изучить более подробно вопрос о возможности

такого моделирования. На рис.27,а представлена схема системы возбуждения

лазера на основе несимметричного LC-контура. Этот рисунок отражает реальное

конструктивное расположение всех элементов системы возбуждения лазера. На

этой схеме изображены сосредоточенные емкости накопителя (С1) и обострителя

(С0). Тонкими линиями представлены шины токопроводов лазера. Все эти шины

представляют собой распределенные индуктивности. При этом возникает

довольно интересная ситуация. Система возбуждения имеет три контура:

- контур перезарядки накопителя на обостритель;

- контур разряда обострителя на межэлектродный промежуток;

- контур разряда накопителя на межэлектродный промежуток.

Мы можем ввести индуктивности всех этих контуров соответственно L1, L0 и

L2. Кроме того мы можем ввести коэффициенты взаимоиндукции между этими

контурами. М12 - коэффициент взаимоиндукции между контуром перезарядки

накопителя на обостритель (С1, L1, С0) и контуром разряда накопителя на

межэлектродный промежуток (С1, L2, R). М10 - между контуром раряда

обострителя на межэлектродный промежуток (С0, L0, R) и контуром

перезарядки накопителя на обостритель (С1, L1, С0). М20 - между контуром

(С1, L2, R) и контуром (С0, L0, R). Можно записать систему уравнений

для контурных токов, которая будет описывать работу системы возбуждения:

[pic]

(47)

[pic]

[pic]

I0, I1, I2, R - соответственно контурные тока и сопротивление

межэлектродного промежутка. Q0, Q1 - заряды на обострителе и накопителе. Но

мы не можем без дополнительных условий нарисовать эквивалентную

электрическую схему системы возбуждения в виде некотрой цепи с

сосредоточенными парметрами. Формально можно, конечно, преодолеть это введя

в цепь идеальный управляемый источник тока I0 (рис.26,б). Ток I0 этого

источника описывается третьим уравнением системы (47). Внутреннее

сопротивление этого источника бесконечно велико.

Теперь рассмотрим случай системы возбуждения продольные

размеры(длина), которой во много раз больше ее характерных поперечных

размеров, представленных на рис.26,а. В этом случае можно считать, что

L0=L1+L0, M10=0, M12=L1, M20=L0

(48)

При выполнении условий (48) система уравнений (47) может быть

представлена в следующем виде

[pic] (49)

[pic]

[pic]

Эта система уравнений может быть представлена в виде стандартной

эквивалентной электрической схемы (рис.26,в), так как третье уравнение

системы (49) становится следствием первых двух. LC- контур обычно

моделируют именно такой системой уравнений.

1.5. Система возбуждения широкоапертурного XeCl-лазера на с

двухконтурным обострителем

Энергетические характеристики электроразрядных эксимерных лазеров

определяются в первую очередь совершенством системы возбуждения и

предыонизации, а также временной согласованностью их совместной работы.

Характерной особенностью автоматической системы предыонизаци является

то, что она начинает действовать после того как система возбуждения

формирует импульс напряжения на лазерных электродах. Проведенные

теоретические исследования показали, что для оптимальной работы такой

системы предыонизации необходимо обеспечить совпадение частоты напряжения

на электродах лазера с собственной частотой контура автоматической

предыонизации. Только при выполнении этого требования ток протекающий через

цепь предыонизации будет сопоставим с током в автономной системе

предыонизации. Таким образом, при любом изменении временных характеристик

импульса напряжения на лазерных электродах вследствие изменения системы

возбуждения, необходимо заново проводить оптимизацию системы предыонизации.

Нами была теоретически исследована и реализована экспериментально

оригинальная система возбуждения типа LC-контур с двухконтурным

обострителем (рис.2). Эти два контура обострителя (L2C2 и L3C3) имеют

разные индуктивности цепи перезарядки с основной накопительной емкостью.

Емкость С2 имеет индуктивность перезарядки (L1), а С3 имеет индуктивность

перезарядки (L1+ L2+ L3). Теоретический расчет показывает, что в этом

случае могут быть реализованы различные режимы работы системы

возбуждения. При этом в отличии от систем возбуждения с одной

обострительной емкостью ( рис.1) напряжение на разрядном

промежутке - Uэл в режиме холостого хода может существенно отличаться от

напряжений на обострителях. На рис.3, рис.4 и рис.5 представлены

осциллограммы холостого хода соответственно для обычного LС-контура и с

двухконтурным обострителем. Причем для двухконтурного обострителя

рассмотрены два предельных случаев. В первом случае (рис.4) меньшая

обострительная емкость С2 (и с меньшей индуктивностью перезарядки)

заряжается до большего напряжения U2 и обеспечивает формирование объемного

разряда. Большая обострительная емкость С3 с большей индуктивностью цепи

перезарядки осуществляет основной энерговклад в разряд. Во втором случае

величины емкостей соизмеримы, но при этом вторая емкость заряжается до

напряжения U3, которое может существенно превышать пробойное (пробойное

напряжение определяется составом и парциальными давлениями компонент и

всегда подбирается меньшим, чем Uэл на холостом ходу). Такой режим работы в

системе возбуждения с одним обострителем невозможен.

Были проведены экспериментальные исследования с целью обеспечить,

описанный выше второй режим работы. Предварительные данные указывают как на

перспективность данной системы возбуждения, так и на практические трудности

при ее экспериментальной реализации. С помощью такой системы возбуждения

на широкоапертурном XeCl-лазере была получена энергия генерации ~ 3 Дж.

Список использованных источников

1. Serafetinides A.A. Papadopoulos A.D., Rickwood K.R.Investigation and

comparison of preionisation processes in gas laser systems // Opt.

Commun. – 1987. – Vol.63, №4. – P.264–268.

2. Luches A., Nassisi V., Perrone M.R. Output characteristics of an excimer

laser with delayed dauble preionisation // J.Phys. E: Sci. Instrum. –

1987. – Vol.20, №8. – P.1015–1018.

3. Geohhegan D.B., MeCown A.W., Eden J.G. XeCl laser power enhancement with

an external ultraviolet laser // IEEE J. Quant. Electron. – 1986. –

Vol22. №4. – P.501–504.

4. Мик Д., Крэгс Д. Электрический пробой в газах.: Пер. с англ./ Под ред.

В.С.Комелькова. – М.: Изд.-во иностр. лит., 1960.

5. Импульсные СО2-лазеры и их применение для разделения изотопов /

Е.П.Велихов, В.Ю.Баранов, В.С.Летохов и др. – М.: Наука, 1983. – 304 с.

6. Карнюшин В.Н., Солоухин Р.И. Макроскопические и молекулярные процессы в

газовых лазерах. / М.:Атомиздат, 1981. – 200 с.

7. Taylor R.S. Preionization and Discharge Stability Study of Long Optical

Pulse Duration UV-Preionized XeCl Lasers // Appl. Phys. – 1986. –

Vol.B41, №1. – P.1–24.

8. С.В. Мельченко, А.Н. Панченко, В.Ф. Тарасенко. Электроразрядный KrCl

лазер с энергией излучения 0.6 Дж. // Письма в ЖТФ. – 1986. – т.12,

вып.3. – С. 171–175.

9. Ануфрик С.С., Володенков А.П., Зноско К.Ф. Энергетические характеристики

XeCl-лазера с возбуждением LC-инвертором // ЖПС.–1999.–т.66,№5.–

С.702–707.

10. Вилл А.А. Принципы и технология эксимерных лазеров // Труды ИФ АН

ЭССР. – 1984. – Т.56. – С.18–37.

11. С.С. Ануфрик, А.П. Володенков, К.Ф. Зноско, А.Д. Курганский.

Исследование люминесценции активной среды XeCl-лазера. // Тезисы докладов

II Международной конференции по лазерной физике и спектроскопии.– Гродно:

ГрГУ.–1995.– С.120-121.

12. Клайн Л.Э., Дэл Л.Ж. Самостоятельные разряды с предыонизацией,

используемые для накачки лазерных сред // Газовые лазеры: Пер. с англ. /

Под ред. И.Мак-Даниэля и У.Нигэна.–М.: Мир. 1986.–гл.13.–С.461-502.

13. High-power XeCl discharge laser with a large active volume / T.Hasama,

K.Miyazaki, K.Yamada e.a. // J.Appl. Phys. – 1987. – Vol.61, №.9. –

P.4691–4693.

14. Верховский В.С., Мельченко С.В., Тарасенко В.Ф. Генерация на молекулах

XeCl при возбуждении быстрым разрядом // Квант. электрон. – 1981. – Т.8,

№2. – С.417–419.

15. Боровков В.В., Воронин В.В., Воронов С.Л. и др. Высокоэффективные

газовые лазеры на основе трехэлектродной схемы формирования двойного

разряда // Квант. электрон. – 1996. – Т.23, №1. – С.41–42.

16. Баранов В.Ю., Борисов В.М., Христофоров О.Б. Эксимерный

электроразрядный лазер с плазменными электродами // Квант. электрон. –

1981. – Т.8, №1. – С.165–167.

17. Ануфрик С.С., Зноско К.Ф., Курганский А.Д. Низкоимпендансный генератор

высоковольтных импульсов // ПТЭ. – 1990. – №3. – С.99–101.

18. Влияние параметров LC-инвертора на энергию генерации ХеС1-лазера /

С.С.Ануфрик, А.П.Володенков, К.Ф.Зноско, А.Д.Курганский // Межвуз. сб.

“Лазерная и оптико–электронная техника. – Минск: Университетское, 1992. –

С.91–96.

19. Влияние параметров LC-инвертора на выходноую энергию XeCl-лазера /

С.С. Ануфрик, А.П. Володенков, К.Ф. Зноско, А.Д. Курганский // Лазерная

физика и спектроскопия: Труды конференции под ред.

А.А. Афанасьева.–Минск: Институт физики НАНБ, 1997.–т.1,–С.200-203.

20. Ануфрик С.С., Володенков А.П., Зноско К.Ф. Энергетические

характеристики XeCl-лазера с возбуждением LC-инвертором //

ЖПС.–1999.–т.66,№5.– С.702–707.

21. Ануфрик С.С., Зноско К.Ф., Курганский А.Д. Оптимизация двухконтурной

схемы возбуждения ХеС1-лазера. // Межвуз. сб. “Лазерная и

оптико–электронная техника. – Минск: Университетское, 1989. – С.87–91.

22. Anufrik S.S., Znosko K.F., Kurgansky A.D. XeCl-laser with LC-circuit

excitation research // Abstracts III-rd Symposium on Laser Technology.

Szcecin-Swinoujscie, 24–27 September 1990. – P.47–48.

23. Anufrik S.S., Znosko K.F., Kurgansky A.D. XeCl-laser with LC-circuit

excitation research // SPIE. – 1991. – Vol.1391. – P.87–92.

24. Ануфрик С.С., Зноско К.Ф., Курганский А.Д. Влияние параметров контура

возбуждения на длительность и форму импульса генерации ХеС1-лазера. //

Межвуз. сб. “Лазерная и оптико-электронная техника. – Минск:

Университетское, 1992. – С.86–90.

25. Ануфрик С.С., Зноско К.Ф., Володенков А.П., Исследование энергетических

и временных характеристик генерации XeCl-лазера // Программа и тезисы

докладов XIV Литовско-Белорусского семинара.– Прейла: Литва.–1999.–с.16.

26. Квазистационарный режим возбуждения электроразрядных лазеров /

Ю.И.Бычков, С.В.Мельченко, Г.А.Месяц и др. // Квант.электрон. – 1982. –

Т.9, №12. – С.2423–2431.

27. Бураков В.С., Бохонов А.Ф., Неделько М.И. Компактный электроразрядный

ХеС1-лазер // ЖПС. – 1994. – Т.61, №3–4. – С.287–301.

28. Польский Ю.Е., Ситенков Ю.Л., Хохлов Ю.М. Влияние индуктивности

разрядного контура на величину удельного энерговклада в импульсных

лазерах с несамостоятельным разрядом // Радиотехн. и электрон. – 1988. –

Т.33, №3. – С.564–568.

29. Hiramatsu M., Goto T. Compact and reliable discharge-pumped HeCl-laser

with automatic preionization // Rev.Sci. Instrum. – 1986. – Vol.57, №4. –

P.534–538.

30. Тарасенко В.Ф., Федоров А.Н. Характеристики электроразрядного ХеС1-

лазера // Изв. Вузов. Физ. – 1981. – Т.24, №2. – С.15–19.

31. Efficient and compact discharge XeCl-laser with automatic UV

preionization / K.Miyazaki, Y.Toda, T.Hasama, T.Sato // Rev.Sci.

Instrum. – 1985. – Vol.56, №2. – P.201–204.

32. Бураков В.С., Бохонов А.Ф., Титарчук В.А. Электроразрядный эксимерный

лазер с различными схемами питания и типами резонаторов. – Минск, 1987. –

42 с. – (Препринт / ИФ АН БССР; №457).

33. Long W.H., Plummer M.J., Stappaerts E.A. Efficient discharge pumping of

an XeCl-laser using a high-voltage prepulse // Appl.Phys. Lett. – 1983. –

Vol.43, №8. – P.735–737.

34. Ануфрик С.С., Зноско К.Ф. Влияние состава активной среды ХеС1-лазера на

его энергию генерации // Тез.докл. VI Всесоюз. конф. “Оптика лазеров”. –

Ленинград, 2–7 марта 1990. – С.109.

35. Елецкий А.В. Эксимерные лазеры // УФН. – 1978. – Т.125. – Вып.2. –

С.279–314.

36. Hogar D.C., Kearsley A.J., Webb C.E. Resistive stabilisation of a

discharge-excitrd XeCl-laser // J.Phys.D: Appl.Phys. – 1980. – Vol.13,

№2. – P.225–228.

37. В.М.Багинский, П.М.Головинский, В.А.Данилычев и др. Динамика развития

разряда и предельные характеристики лазеров на смеси Не-Хе-НС1 // Квант.

электрон. – 1986. – Т.13, №4. – С.751–758.

38. Osborne M.R. and Hutchinson M.H.R. Long pulse operation and premature

termination of a high-power disharge pumped XeCl laser // J.Appl.Phys. –

1986. – Vol.59, №3. – P.711–715.

39. Sarjeant W.J., Alcoock A.J., Leopold K.E. Parametric Study of a

Constant E/N. Pumped High-Power KrF* Laser // IEEE J.Quant. Electron. –

1978. – Vol.14, №3. – P.177–184.

40. Sato I., Inone M., Haruta K., Nagai H., Murai Y.// Appl Phys Letts. 64,

679 (1994).

41. Басов В.А., Коновалов В.А. Электроразрядный ХеС1–лазер с КПД 4% и

энергией генерации 14 Дж // Квант. электрон. – 1996. – Т.23,№9 –

С.787–790.

42. Демьянов А.В., Кочетов И.В. Оптимизация параметров электроразрядного

ХеС1–лазера с двойным разрядом и магнитным ключом. // Квант. электрон. –

1995. – 22. – №5. – С.467–474.

43. С.С.Ануфрик, А.П.Володенков, К.Ф.Зноско, А.Д. Курганский. Система

возбуждения широкоапертурного электроразрядного XeCl-лазера.// Тезисы

докладов II Международной конференции по лазерной физике и спектроскопии.-

Гродно, с.115-116(1995).

44. С.С.Ануфрик, К.Ф.Зноско, А.Д. Курганский. Влияние параметров LC-контура

на энергию генерации XeCl-лазера.// Квантовая электроника, Т.16, №11,

с.2228-2231 (1989).

45. С.С.Ануфрик, А.П.Володенков, К.Ф.Зноско, А.Д. Курганский. Многоцелевая

лазерная система на основе эксимерных сред.// Тезисы докладов III

Международной конференции по лазерной физике и спектроскопии.-Гродно,

с.165-168(1997).

46. С.С. Ануфрик. Молекулярные лазеры на эксимерах и органических

красителях. Автореферат докторской диссертации. ИФНАН. Минск, 2000.

47. S.S. Anufrik,A.P. Volodenkov,K.F. Znosko. The systems of excitation of

discharge-pumped excimer lasers. Abstracts Belarusian-German Seminar “

Laser and Their Applications”, Grodno, September 5-9, 2000/ Minsk,

Institute of Phys., 2000-p.33-34.

48. Газовые лазеры: Пер. с англ. / Под ред. И.Мак–Даниеля и У.Нитэна. – М.:

Мир, 1986. – 548 с.

49. Taylor R.S. Preionization and discharge stability study of long optical

pulse duration UV–preionized XeCl–lasers.// Appl.Phys. – Vol.B41. –

P.1–24(1986).

50. Christov Ch.G., Chaltakova N.G. Simplified discharge model for excimer

lasers.// Bul. J.Phys. – Vol.15–5. – P.497–506(1988).

51. С.С. Ануфрик, К.Ф. Зноско,А.П. Володенков. Исследование энергетических

и временных характеристик XeCl-лазера.// Литовский физический журнал.

2000, №8.

52. С.С. Ануфрик,К.Ф. Зноско, А.П. Володенков. Типоряд экспериментальных

образцов эксимерных лазеров.// Тезисы белорусско-польского научно-

практического семинара. 14-16 ноября 2000 г., Гродно.

53. С.С.Ануфрик, А.П.Володенков, К.Ф.Зноско, А.Д.Курганский. Измерение

напряжения и тока в электроразрядных эксимерных лазерах. //Тез. докл.

Республ. научн.–техн. конф. “Электрофизические и прикладные вопросы

высоковольтных измерений”. – Запорожье, 18–20 сент., – С.5–6(1990).

54. С.С. Ануфрик,К.Ф. Зноско,А.П. Володенков. Влияние системы предыонизации

на энергию генерации XeCl-лазера.// Оптический журнал. 2000, т. 67, № 11,

с. 38-45.

55. А.П. Володенков. Методика измерений, используемых при оптимизации

электроразрядных эксимерных лазеров.//Материалы III Международной научно-

технической конференции. Квантовая электроника. Минск - Ноябрь 2000,

с.130-131.

56. Техника высоких напряжений: теоретические и практические основы

применения. / М. Бейер, В. Бёк, К. Мёллер, В. Цаенгль.-М.-

Энергоатомиздат, 1989.

57. С.С. Ануфрик,К.Ф. Зноско,А.П. Володенков. Система возбуждения

электроразрядного эксимерного лазера с автоматической предыонизацией и

двухконтурным обострителем. // Материалы III Международной научно-

технической конференции. Квантовая электроника. Минск - Ноябрь 2000, с.99-

100.

Страницы: 1, 2, 3